用于等離子體發(fā)生裝置的陰極組件及其等離子體發(fā)生裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020779607.5 申請日 -
公開（公告）號 CN212231792U 公開（公告）日 2020-12-25
申請公布號 CN212231792U 申請公布日 2020-12-25
分類號 H05H1/34(2006.01)I 分類 其他類目不包含的電技術;
發(fā)明人 張宜東;蔡瓏元;尹志堯 申請（專利權）人 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司
代理機構 上海元好知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 中微惠創(chuàng)科技（上海）有限公司
地址 201306上海市浦東新區(qū)南匯新城鎮(zhèn)竹柏路750號205室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種用于等離子體發(fā)生裝置的陰極組件及其等離子體發(fā)生裝置，其中，陰極組件包括：陰極腔，包括陰極冷卻入口、陰極放置槽和安裝孔，安裝孔設于陰極放置槽的外圍，所述陰極冷卻入口用于向所述陰極腔內(nèi)輸送冷卻介質(zhì)，所述陰極放置槽用于放置陰極替換部；第一固定件，置于所述安裝孔內(nèi)與陰極腔之間可拆卸連接，用于固定所述陰極替換部。所述陰極組件的陰極能夠可拆卸，有利于降低陰極組件的更換成本。??