一種晶圓加工的載物臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120047222.4 申請日 -
公開（公告）號 CN214043621U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN214043621U 申請公布日 2021-08-24
分類號 H01L21/683（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 夏華忠;黃傳偉;李健;諸建周;呂文生;談益民 申請（專利權）人 江蘇東海半導體股份有限公司
代理機構(gòu) 無錫市大為專利商標事務所（普通合伙） 代理人 殷紅梅;胡家銘
地址 214142江蘇省無錫市新吳區(qū)碩放街道中通東路88號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種晶圓加工的載物臺，包括臺體，臺體中心螺紋連接中心調(diào)整螺栓，中心調(diào)整螺栓外周設有若干周部調(diào)整螺栓，周部調(diào)整螺栓布置第一真空槽和第二真空槽，第一真空槽與第二真空槽之間設有鑷子取物口，臺體為圓形。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，易于實現(xiàn)，成本較低；只有在晶圓的邊緣和中心部位有支撐和接觸；中間的支撐柱高度可以調(diào)整；除了中間和邊緣區(qū)域以外為鏤空區(qū)域，不和晶圓接觸。