脊形陣列半導(dǎo)體激光器及其制作方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610578278.6 申請日 -
公開（公告）號 CN107645121B 公開（公告）日 2019-12-20
申請公布號 CN107645121B 申請公布日 2019-12-20
分類號 H01S5/22（2006.01）; H01S5/343（2006.01） 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黃瑩; 李德堯; 劉建平; 張立群; 張書明; 楊輝 申請（專利權(quán)）人 杭州增益光電科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京正理專利代理有限公司 代理人 杭州增益光電科技有限公司
地址 310018 浙江省杭州市杭州經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)白楊街道21號大街600號2幢110室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種脊形陣列半導(dǎo)體激光器，包括襯底、形成于所述襯底上的外延結(jié)構(gòu)，所述外延結(jié)構(gòu)的頂部具有脊形半導(dǎo)體層，所述脊形半導(dǎo)體層包括多個脊形部，所述多個脊形部的寬度不相等。本發(fā)明提出的脊形陣列半導(dǎo)體激光器，通過在外延結(jié)構(gòu)的頂部設(shè)置多個脊形部，多個脊形部的寬度不相等，能夠降低激光器在工作時有源區(qū)中心與有源區(qū)兩側(cè)的溫差，從而使得整個激光器結(jié)構(gòu)溫度分布均勻，使得激光器工作時輸出特性一致。