二次電子發(fā)射系數(shù)測(cè)量裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010198334.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113495082A 公開（公告）日 2021-10-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113495082A 申請(qǐng)公布日 2021-10-12
分類號(hào) G01N23/2251（2018.01）I;G01R19/00（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張科;姜開利;范守善 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 富士康科技集團(tuán)有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 100084北京市海淀區(qū)清華大學(xué)清華-富士康納米科技研究中心401室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種二次電子發(fā)射系數(shù)測(cè)量裝置，包括：一掃描電子顯微鏡，具有一電子發(fā)射端以及一腔室，該電子發(fā)射端用于發(fā)射電子束；一第一收集板，具有一第一通孔；一第二收集板，具有一第二通孔；一第一電流計(jì)，用于測(cè)試從待測(cè)樣品打到第一收集板和第二收集板的電子的電流強(qiáng)度；一法拉第杯，具有一電子入口；一第二電流計(jì)，用于測(cè)量進(jìn)入到法拉第杯的電子的電流強(qiáng)度；以及一電壓表，用于測(cè)量所述第一收集板與待測(cè)樣品之間的電壓。該第二收集板與第一收集板平行且間隔設(shè)置于腔室內(nèi)，待測(cè)樣品放置在第一收集板和第二收集板之間。該第一通孔、第二通孔以及電子入口貫穿設(shè)置，所述電子束依次穿過第一通孔、第二通孔后進(jìn)入到所述法拉第杯中。