一種晶圓級堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111496265.1 申請日 -
公開（公告）號 CN114180822A 公開（公告）日 2022-03-15
申請公布號 CN114180822A 申請公布日 2022-03-15
分類號 C03B33/10（2006.01）I;C03B33/00（2006.01）I 分類 玻璃；礦棉或渣棉;
發(fā)明人 李亞雄;張強(qiáng) 申請（專利權(quán)）人 華天慧創(chuàng)科技（西安）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安通大專利代理有限責(zé)任公司 代理人 張宇鴿
地址 710018陜西省西安市西安經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)鳳城五路123號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓級堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割方法，屬于晶圓級光學(xué)玻璃切割技術(shù)領(lǐng)域，用以滿足堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割質(zhì)量要求，同時規(guī)避由于刀刃暴露量過長出現(xiàn)的問題。晶圓級堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割方法先對晶圓級光學(xué)玻璃堆疊結(jié)構(gòu)一端（第一面）切割，切割至沿著切割方向1/2?2/3的位置停止切割，后又經(jīng)過翻轉(zhuǎn)倒膜，通過對準(zhǔn)光線穿過另一端（第二面）再識別第一面的刀痕印記，從而保證切割兩面位置一致，保證在垂直方向尺寸精度進(jìn)行切割，完成整個晶圓級堆疊結(jié)構(gòu)光學(xué)玻璃的切割。切割后的玻璃背面崩邊小、穩(wěn)定和尺寸精度高，提高了切割質(zhì)量。