一種晶圓片及其制作方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201911216929.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN111081680B 公開(kāi)（公告）日 2021-08-27
申請(qǐng)公布號(hào) CN111081680B 申請(qǐng)公布日 2021-08-27
分類號(hào) H01L23/544（2006.01）I;H01L27/15（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馮克耀;石杜娟;徐凱;俞寬;張書豪;蔡家豪;張家豪 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 安徽三安光電有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 241000安徽省蕪湖市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)東梁路8號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種晶圓片及其制作方法，其中晶圓片包括：襯底，具有相對(duì)的第一表面和第二表面；發(fā)光元件，位于襯底的第一表面上；標(biāo)記元件，位于襯底的第一表面上，與發(fā)光元件通過(guò)襯底連接并間隔分布；其中，所述標(biāo)記元件的厚度大于發(fā)光元件。本發(fā)明中當(dāng)對(duì)襯底的第二表面施加壓力時(shí)，標(biāo)記元件用于支撐發(fā)光元件，防止發(fā)光元件被損傷。