一種桶式外延爐基座旋轉(zhuǎn)同心度監(jiān)控裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021552729.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212659531U | 公開（公告）日 | 2021-03-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212659531U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-05 |
| 分類號(hào) | H01L21/687(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 肖健;任凱;肖戰(zhàn)武;黃健 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 南京國盛電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 張弛 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江寧經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)正方中路166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種桶式外延爐基座旋轉(zhuǎn)同心度監(jiān)控裝置，包括：桶式基座，用于裝載硅片；同心度監(jiān)控裝置，用于實(shí)時(shí)監(jiān)控桶式基座旋轉(zhuǎn)同心度是否為允許范圍，如旋轉(zhuǎn)同心度偏差超出了允許范圍即報(bào)警。本實(shí)用新型可解決桶式基座旋轉(zhuǎn)同心度的量化監(jiān)控和及時(shí)控制，防范了因基座旋轉(zhuǎn)同心度變化導(dǎo)致硅片厚度均勻性異常報(bào)廢。?? |
