一種硅外延設(shè)備加熱系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)裝置及監(jiān)測(cè)方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010362091.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111524837A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-08-11 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111524837A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-08-11 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L21/67(2006.01)I;G05B19/414(2006.01)I | 分類(lèi) | - |
| 發(fā)明人 | 肖健;袁夫通;宋占洋;馮永平;徐衛(wèi)東 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 南京國(guó)盛電子有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇高專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 南京國(guó)盛電子有限公司 |
| 地址 | 210000江蘇省南京市江寧經(jīng)濟(jì)技術(shù)開(kāi)發(fā)區(qū)正方中路166號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開(kāi)了硅外延設(shè)備加熱系統(tǒng)運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)測(cè)裝置及監(jiān)測(cè)方法，該監(jiān)測(cè)裝置包含：外延設(shè)備機(jī)臺(tái)、電流互感器、電流信號(hào)采集器、控制信號(hào)采集器、PLC裝置、運(yùn)算顯示裝置和報(bào)警指示裝置。外延機(jī)臺(tái)加熱燈管由可控硅驅(qū)動(dòng)，電流信號(hào)采集裝置采集燈管兩端電流信號(hào)傳送到PLC內(nèi)，與控制信號(hào)采集裝置采集的信號(hào)進(jìn)行運(yùn)算比對(duì)，若超過(guò)控制閾值則進(jìn)行報(bào)警提示，實(shí)現(xiàn)對(duì)加熱燈管的完好情況的在線(xiàn)監(jiān)測(cè)，發(fā)現(xiàn)問(wèn)題及時(shí)報(bào)警，提高外延設(shè)備的效率。?? |
