一種石英罩小孔蓋板組件

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202020061593.3 申請日 -
公開（公告）號 CN211645444U 公開（公告）日 2020-10-09
申請公布號 CN211645444U 申請公布日 2020-10-09
分類號 C30B25/12(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 陳浩;何文俊;馮永平;孫鐵成 申請（專利權(quán)）人 南京國盛電子有限公司
代理機構(gòu) 南京蘇高專利商標事務所（普通合伙） 代理人 南京國盛電子有限公司
地址 210000江蘇省南京市江寧經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)正方中路166號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型專利提供了一種新型結(jié)構(gòu)的石英罩小孔蓋板組件，包括石英罩及小孔蓋板，小孔蓋板包括板體，該板體具有兩面的光滑表面，其中一個表面突出有兩個平行設置的長方體定位塊，該兩個定位塊均位于小孔內(nèi)，且兩個定位孔之間的板體部分作為激光對接部位；激光對接部位的厚度為較薄的板體的厚度，而不像現(xiàn)有技術(shù)中是較厚的凸臺的厚度，故本技術(shù)方案可以有效的避免定位激光因為小蓋板結(jié)構(gòu)的不合理引起的光線發(fā)散，導致激光定位儀不能收到反饋信號影響基座定位的缺陷。種新型小蓋板結(jié)構(gòu)在激光對接部位的厚度更薄，減弱了對硅外延反應時氣體的吸力，其表面發(fā)生淀積的能力極大地降低。??