一種無掩膜極坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)掃描曝光成像裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201821602375.5 申請日 -
公開（公告）號 CN208689363U 公開（公告）日 2019-04-02
申請公布號 CN208689363U 申請公布日 2019-04-02
分類號 G03F7/20（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 陳乃奇 申請（專利權(quán)）人 深圳市先地圖像科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市寶安區(qū)西鄉(xiāng)街道寶源路寶安互聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)基地A區(qū)二棟一樓106
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種無掩膜極坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)掃描曝光成像裝置，包括底座，所述底座上端安裝有安裝圓臺，安裝圓臺上端設(shè)有環(huán)形陣列分布的晶圓，底座上端安裝有橫梁，橫梁上安裝有CCD，橫梁上端卡設(shè)有滑臺，滑臺側(cè)邊設(shè)有陣列分布的激光器。本實用新型無掩膜極坐標(biāo)旋轉(zhuǎn)掃描曝光成像裝置，晶圓的光刻，取消掩膜版制作環(huán)節(jié)，直接刻畫在晶圓上，圖形精度高、質(zhì)量好、速度快、掃描連續(xù)，穩(wěn)定性高，減少了制作工序，實現(xiàn)成本的優(yōu)化。