一種電子束輻照增強(qiáng)裝置及其使用方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110144628.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN114284124A | 公開（公告）日 | 2022-04-05 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114284124A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-05 |
| 分類號(hào) | H01J37/065（2006.01）I;H01J37/09（2006.01）I;H01J37/10（2006.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 唐志宏;谷勝棟 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 湖州超群電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海云滬專利代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 鄭義紅 |
| 地址 | 313000浙江省湖州市紅豐路1366號(hào)5幢1206-11 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種電子束輻照增強(qiáng)裝置，包括電子束源和樣品，所述樣品位于電子束源的下方，所述電子束源包括固定殼，且固定殼的頂部外壁開設(shè)有第一固定孔，所述第一固定孔的內(nèi)壁設(shè)置有陰極，所述固定殼的底端外壁開設(shè)有第二固定孔，且第二固定孔的內(nèi)壁設(shè)置有陽極。本發(fā)明通過設(shè)置有直線型電子傳輸通道、直線型屏蔽罩、電場、第一電極、第二電極、波浪型電子傳輸通道和波浪型屏蔽罩，通過上述部件之間的一個(gè)或者多個(gè)組合使用能夠以通過改變電子的傳輸方向和增加電子的產(chǎn)額來提高對(duì)樣品的轟擊效果，相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)來說，顯著提高電子利用效率，使產(chǎn)生的電子物盡其用，操作簡單，成本較低，減少了電子的浪費(fèi)。 |
