自動化硅片輸送裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201922008552.8 申請日 -
公開（公告）號 CN210628265U 公開（公告）日 2020-05-26
申請公布號 CN210628265U 申請公布日 2020-05-26
分類號 H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張杰 申請（專利權(quán)）人 安徽英發(fā)睿能科技股份有限公司
代理機構(gòu) 北京細軟智谷知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 安徽英發(fā)睿能科技股份有限公司
地址 239300 安徽省滁州市天長市經(jīng)濟開發(fā)區(qū)經(jīng)六路、緯三路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及硅片鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種自動化硅片輸送裝置，包括用于裝載硅片并進行背面鍍膜的背膜石墨舟；用于裝載硅片并進行正面鍍膜的正膜石墨舟；位于背膜石墨舟和正膜石墨舟之間的中轉(zhuǎn)變節(jié)距，中轉(zhuǎn)變節(jié)距上設(shè)置有多個用于承載硅片的承載位；用于將背膜石墨舟中的硅片裝載到承載位的第一機械臂和用于將承載位的硅片裝載到正膜石墨舟的第二機械臂，第一機械臂和第二機械臂的活動端均設(shè)置有用于吸附硅片的裝載吸盤。如此設(shè)置，通過第一機械臂和第二機械臂轉(zhuǎn)運硅片，避免了背膜工藝到正膜工藝的人工搬運流程，有利于節(jié)省人力和資源；而且硅片的裝卸只完成一次，減少對硅片造成的損傷。