一種晶圓檢測高精度氣浮運(yùn)動平臺及方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111374217.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114111691A 公開（公告）日 2022-03-01
申請公布號 CN114111691A 申請公布日 2022-03-01
分類號 G01B21/24（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I;G01R1/02（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉浩;須穎;賈靜 申請（專利權(quán)）人 三英精控（天津）儀器設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市爾遜專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 周盈如
地址 301700天津市武清區(qū)武清開發(fā)區(qū)福源道北側(cè)創(chuàng)業(yè)總部基地C21號樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種晶圓檢測高精度氣浮運(yùn)動平臺及方法，包括：基座；橫梁，安裝在基座上；滑臺，可用于承載晶圓；直線電機(jī)，用于驅(qū)動滑臺沿橫梁滑動；傳感器，具有至少三個(gè)，可用于檢測晶圓的垂直直線度；氣浮軸承，包括第一氣浮軸承、第二氣浮軸承以及第三氣浮軸承，用于滑臺的懸??；補(bǔ)償裝置，基于傳感器檢測的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)，對晶圓的垂直直線度進(jìn)行補(bǔ)償。本發(fā)明可以消除基座因機(jī)械加工精度固有因素導(dǎo)致的運(yùn)動平臺垂直直線度不高、無法對平臺運(yùn)動過程中的垂直直線度進(jìn)行檢測和補(bǔ)償?shù)募夹g(shù)問題，極大地提高了晶圓運(yùn)動過程中的垂直直線度。