一種制備純相多殼層Si2N2O空心球形粉體的系統(tǒng)和方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210226836.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114684797A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114684797A 申請公布日 2022-07-01
分類號 C01B21/082（2006.01）I;B01J8/26（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 耿玉琦;朱慶山;向茂喬;趙宇翔 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院過程工程研究所
代理機(jī)構(gòu) 北京方安思達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 100190北京市海淀區(qū)中關(guān)村北二條1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種制備純相多殼層Si2N2O空心球形粉體的系統(tǒng)和方法。該方法通過硅源氣與氮源氣混合發(fā)生反應(yīng)生成硅胺前驅(qū)體粉體，隨后經(jīng)過多次交替吸附硅源氣和氮源氣與控制增氧的方法獲得雙殼層球形含氧前驅(qū)體粉體，后續(xù)進(jìn)行副產(chǎn)物脫除和熱分解得到雙殼層純相Si2N2O空心球形粉體。本發(fā)明不僅解決了傳統(tǒng)工藝難以獲得高分散、高球形度的多殼層純相Si2N2O球形粉體的難題，同時能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)批量化制備，工藝流程簡單，生產(chǎn)效率高。