一種用于高溫加熱的金屬線(xiàn)結(jié)構(gòu)的制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110166578.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN112960642A 公開(kāi)（公告）日 2021-06-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN112960642A 申請(qǐng)公布日 2021-06-15
分類(lèi)號(hào) B81C1/00（2006.01）I 分類(lèi) 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 于海濤 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 廈門(mén)海恩邁科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 361026福建省廈門(mén)市中國(guó)（福建）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)廈門(mén)片區(qū)嵩嶼南二路99號(hào)1303室之708
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，本發(fā)明公開(kāi)了一種用于高溫加熱的金屬線(xiàn)結(jié)構(gòu)的制備方法。該制備方法包括如下步驟：在硅襯底上制備形成金屬線(xiàn)層；在該金屬線(xiàn)層上制備絕緣保護(hù)層，得到待退火結(jié)構(gòu)；對(duì)該待退火結(jié)構(gòu)進(jìn)行退火處理。本申請(qǐng)?zhí)峁┑闹苽浞椒ǖ玫降慕饘倬€(xiàn)結(jié)構(gòu)具有高溫自加熱功能及耐高溫的特點(diǎn)。