一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201720056109.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN206431166U 公開（公告）日 2017-08-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN206431166U 申請(qǐng)公布日 2017-08-22
分類號(hào) G01R1/04(2006.01)I;G01R31/26(2014.01)I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 付關(guān)軍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市德欣電器有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京同輝知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 魏忠暉
地址 518122 廣東省深圳市坪山區(qū)龍?zhí)锝值例執(zhí)锷鐓^(qū)瑩展電子科技（深圳）有限公司園區(qū)3號(hào)廠房二樓（B3-b二樓）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種抗干擾晶圓測(cè)試機(jī)外殼，包括本體外殼和測(cè)試機(jī)，所述本體外殼的內(nèi)頂部固定連接于探針臺(tái)的上端，所述探針臺(tái)上安裝有探針卡，所述本體外殼內(nèi)底部固定連接于支柱的底端，所述支柱固定連接于測(cè)試臺(tái)的下表面，所述測(cè)試臺(tái)的上表面通過(guò)負(fù)壓吸附固定有轉(zhuǎn)接板，所述轉(zhuǎn)接板上電性連接有待測(cè)晶圓，所述探針臺(tái)通過(guò)屏蔽信號(hào)線電性連接于測(cè)試機(jī)，所述測(cè)試機(jī)電性連接有顯示模塊。本實(shí)用新型可同時(shí)對(duì)MOS產(chǎn)品進(jìn)行多工位檢測(cè)，檢測(cè)效率高；可以有效的對(duì)輸出電壓進(jìn)行穩(wěn)定，減小信號(hào)震蕩，有利于檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確。