一種晶圓表面大深寬比TSV盲孔的清洗方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510259860.1 申請日 -
公開（公告）號 CN104900493A 公開（公告）日 2015-09-09
申請公布號 CN104900493A 申請公布日 2015-09-09
分類號 H01L21/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 賀欣;單光寶;孫有民;杜欣榮;李翔 申請（專利權）人 中國航天科技集團有限公司
代理機構 西安通大專利代理有限責任公司 代理人 徐文權
地址 710068 陜西省西安市太白南路198號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種晶圓表面大深寬比TSV盲孔的清洗方法，取若干晶圓放入超聲擦片機中，利用去離子水沖洗的同時進行超聲擦片；超聲擦片結束后直接將晶圓從超聲擦片機中取出，然后將晶圓放入純IPA清洗液中清洗；將上述清洗過的晶圓取出置于純EKC清洗液中清洗；將上述清洗過的晶圓取出置于純IPA清洗液中清洗；將上述清洗過的晶圓取出置于去離子水槽中沖洗；將上述沖洗過的晶圓甩干。本發(fā)明采用晶圓生產線現(xiàn)有設備和現(xiàn)有清洗液，生產成本較低，且能夠實現(xiàn)多片同時清洗，生產效率較高，滿足大規(guī)模生產的需求。