一種負載傳輸裝置與方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410692428.7 申請日 -
公開（公告）號 CN105702611B 公開（公告）日 2018-09-07
申請公布號 CN105702611B 申請公布日 2018-09-07
分類號 H01L21/677;H01L21/687;H01L21/673;H01L21/67 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 馬悅;胡兵 申請（專利權）人 理想能源設備（上海）有限公司
代理機構 上海恒銳佳知識產(chǎn)權代理事務所（普通合伙） 代理人 理想能源設備（上海）有限公司;理想晶延半導體設備（上海）有限公司
地址 201203 上海市浦東新區(qū)張江居里路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種負載傳輸裝置，包括反應腔、傳輸腔、基板和機械手。上述反應腔內(nèi)設置有基座；機械手位于傳輸腔中，機械手設置有支撐部，用于將所述基板在所述傳輸腔與所述反應腔之間傳輸。上述傳輸腔內(nèi)設置有第一承載區(qū)、第二承載區(qū)和位于所述第一承載區(qū)、第二承載區(qū)之間的中間層區(qū)，上述的至少一個反應腔通過一傳輸門與傳輸腔連通或分隔。上述第一承載區(qū)設置有第一支架，第一承載區(qū)還包括第一放置軸、第一抓取軸與第一傳輸軸。上述第二承載區(qū)設置有第二支架，第二承載區(qū)還包括第二放置軸、第二抓取軸與第二傳輸軸。本發(fā)明的負載傳輸裝置工作尺寸較小，結構緊湊，有效解決現(xiàn)有技術中存在的占地面積大，維護時間長，生產(chǎn)效率低的問題。