硅基異質(zhì)結(jié)太陽能電池真空處理系統(tǒng)及電池制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201210589702.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103904155B 公開（公告）日 2017-12-05
申請(qǐng)公布號(hào) CN103904155B 申請(qǐng)公布日 2017-12-05
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 胡宏逵;馬哲國;耿茜;李一成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 理想能源設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 上海市松江區(qū)思賢路3255號(hào)3幢403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種硅基異質(zhì)結(jié)太陽能電池的真空處理系統(tǒng)及電池的制備方法，所述硅基異質(zhì)結(jié)太陽能電池真空處理系統(tǒng)包括：將裝有硅片的托盤傳入或傳出所述真空處理系統(tǒng)的進(jìn)/出片腔，至少一個(gè)反應(yīng)腔，在所述反應(yīng)腔內(nèi)對(duì)硅片進(jìn)行化學(xué)氣相沉積處理以沉積非晶硅薄膜，所述真空處理系統(tǒng)中還含有保持真空環(huán)境的氧化層蝕刻腔，用于去除硅片表面的氧化物。本發(fā)明通過將氧化層蝕刻過程和沉積非晶硅薄膜過程集中于一個(gè)真空處理系統(tǒng)中，可以避免大氣傳輸中的大氣污染，有利于提高電池轉(zhuǎn)換效率，同時(shí)，降低了制絨工序和鈍化工序間嚴(yán)格的時(shí)間要求，有利于實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)并且提高產(chǎn)品的生產(chǎn)良率。