基板校準方法與裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201410629052.5 申請日 -
公開（公告）號 CN105575868B 公開（公告）日 2018-12-07
申請公布號 CN105575868B 申請公布日 2018-12-07
分類號 H01L21/68 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐升東 申請（專利權(quán)）人 理想能源設(shè)備（上海）有限公司
代理機構(gòu) 上海恒銳佳知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 上海理想萬里暉薄膜設(shè)備有限公司
地址 201620 上海市松江區(qū)思賢路3255號3幢403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明的基板校準裝置用于校準薄膜沉積進出片腔中的基板，所述進出片腔具有頂部、底部、頂部與底部之間的側(cè)壁及位于底部正上方用以承載基板的升降裝置，所述底部正下方設(shè)置有用以升降所述升降裝置的動力裝置，所述頂部設(shè)置有基板校準裝置，所述基板校準裝置包括驅(qū)動機構(gòu)、傳動機構(gòu)、導(dǎo)向桿，所述驅(qū)動機構(gòu)驅(qū)動傳動機構(gòu)運動，所述導(dǎo)向桿臨近所述傳動機構(gòu)的一端設(shè)置有滾輪裝置，所述導(dǎo)向桿遠離所述傳動機構(gòu)的一端設(shè)置有校準機構(gòu)，所述滾輪裝置隨著所述傳動機構(gòu)的運動而運動，進而帶動所述校準機構(gòu)隨著所述傳動機構(gòu)的運動而在導(dǎo)向桿上移動。本發(fā)明的基板校準機構(gòu)可移動的對失準基板不同的方向同時驅(qū)使基板至預(yù)定基準位置，壓力小，基板不易損壞。