實(shí)現(xiàn)基板正交傳送的真空搬運(yùn)裝置及其搬運(yùn)方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410239802.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN105448767B 公開(kāi)（公告）日 2018-02-13
申請(qǐng)公布號(hào) CN105448767B 申請(qǐng)公布日 2018-02-13
分類號(hào) H01L21/67;H01L21/677 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐升東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 理想能源設(shè)備（上海）有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 201203 上海市松江區(qū)思賢路3255號(hào)3幢403室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種實(shí)現(xiàn)基板正交傳送的真空搬運(yùn)裝置及其搬運(yùn)方法，一方面通過(guò)由滾珠花鍵、交錯(cuò)軸齒輪機(jī)構(gòu)、旋轉(zhuǎn)平移轉(zhuǎn)向機(jī)構(gòu)三者共同組成的一個(gè)傳動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)控制基板在某一方向的運(yùn)動(dòng)情況，另一方面通過(guò)另一傳動(dòng)機(jī)構(gòu)來(lái)控制基板在與該方向垂直的另一方向上的運(yùn)動(dòng)情況，從而使得該真空搬運(yùn)裝置能夠在真空搬運(yùn)腔體內(nèi)實(shí)現(xiàn)進(jìn)行長(zhǎng)距離的平移和優(yōu)良的密封效果，同時(shí)又保證了基板傳送中的高精度和高可靠性。