一種銅蝕刻液組合物及其制備方法和應用

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011552376.5 申請日 -
公開（公告）號 CN112795923A 公開（公告）日 2021-05-14
申請公布號 CN112795923A 申請公布日 2021-05-14
分類號 C23F1/14 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐帥;張紅偉;李闖;胡天齊;錢鐵民 申請（專利權(quán)）人 江蘇和達電子科技有限公司
代理機構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 鞏克棟
地址 212212 江蘇省鎮(zhèn)江市新壩鎮(zhèn)揚中長江大橋東側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種銅蝕刻液組合物及其制備方法和應用，所述銅蝕刻液包括主劑和輔劑，所述主劑和輔劑中至少一者中含有三聚氰胺和/或其衍生物。本發(fā)明的銅蝕刻液組合物價格低廉，且經(jīng)所述銅蝕刻液處理過的銅/鉬膜層表面無金屬殘留、無倒角、無裂縫、且具有較小的關(guān)鍵尺寸損失（CD?loss）、較適當?shù)腻F角（taper angle）、較高的銅負載量、較小的CD?loss變化量和較小錐角變化量。