一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物及其使用方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110239107.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113046747A 公開（公告）日 2021-06-29
申請公布號 CN113046747A 申請公布日 2021-06-29
分類號 C23F1/18;C23F1/26;C23F1/44;C09K13/08 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 徐帥;張紅偉;李闖;胡天齊;錢鐵民 申請（專利權(quán)）人 江蘇和達電子科技有限公司
代理機構(gòu) 上海微策知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 湯俊明
地址 620010 四川省眉山市彭山經(jīng)濟開發(fā)區(qū)創(chuàng)新二路中段8號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物及其使用方法，原料包括：按質(zhì)量百分數(shù)計，過氧化氫5?20％，無機酸1?10％，氟離子源0.01?1％，絡(luò)合劑1?10％，堿類化合物1?10％，金屬緩蝕劑0.01?1％，溶劑補充余量。本發(fā)明提供一種疊層金屬和金屬氧化物蝕刻液組合物及其使用方法不僅能有效蝕刻疊層金屬和金屬氧化物，而且蝕刻形貌好，蝕刻精度高，能有效滿足客戶的要求。