一種硅片用自動(dòng)清洗裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201821791277.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN209205921U 公開（公告）日 2019-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN209205921U 申請(qǐng)公布日 2019-08-06
分類號(hào) B08B3/10;B08B3/12;B08B13/00 分類 清潔;
發(fā)明人 拜鵬;周雷雷;馮瑞;蘭晶 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安烽火光伏科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安弘理專利事務(wù)所 代理人 西安烽火光伏科技股份有限公司
地址 710077 陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)路125號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種硅片用自動(dòng)清洗裝置，包括承載板以及安裝架，所述安裝架安置于承載板上壁面，且側(cè)壁面安裝有動(dòng)態(tài)清洗結(jié)構(gòu)，所述承載板上壁面且位于動(dòng)態(tài)清洗結(jié)構(gòu)下方安裝有超聲震動(dòng)結(jié)構(gòu)，本實(shí)用新型涉及硅片清洗技術(shù)領(lǐng)域，通過動(dòng)態(tài)清洗結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)了硅片的動(dòng)態(tài)清洗過程，通過超聲震動(dòng)結(jié)構(gòu)使得清洗的更加徹底，通過上述結(jié)構(gòu)的相互配合，實(shí)現(xiàn)了硅片自動(dòng)動(dòng)態(tài)清洗的功能。