一種UV膜模板及利用UV膜模板實(shí)現(xiàn)潔凈玻璃鈍化的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202010473422.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN111816574A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-10-23 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111816574A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-23 |
| 分類號(hào) | H01L21/56(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 耿開(kāi)遠(yuǎn) | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 濟(jì)寧東方芯電子科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 青島發(fā)思特專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 濟(jì)寧東方芯電子科技有限公司 |
| 地址 | 272100山東省濟(jì)寧市兗州區(qū)兗顏路路北天齊廟村村西 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明屬于半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種UV膜模板及利用UV膜模板實(shí)現(xiàn)潔凈玻璃鈍化的方法，UV膜模板，包括UV膜，UV膜上設(shè)有若干段鏤空區(qū)，相鄰鏤空區(qū)端部之間形成UV膜連接區(qū)。本發(fā)明利用了UV膜自身有粘性粘貼到硅片表面，刮涂時(shí)采用鏤空區(qū)對(duì)玻璃進(jìn)行選擇性填入芯片槽，芯片槽填充后除去UV膜模板，可徹底清除殘留的玻璃粉，解決了現(xiàn)有技術(shù)中刮涂玻璃鈍化時(shí)硅片表面清潔不凈的技術(shù)問(wèn)題；本發(fā)明獲得了良好的玻璃鈍化效果，可以非常好的保護(hù)PN結(jié)界面；本發(fā)明玻璃有效地保護(hù)到了上沿，避免了光刻膠涂布不好的問(wèn)題。?? |
