一種用于控制真空生長(zhǎng)室內(nèi)氣體壓力的壓力自動(dòng)控制裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920222341.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN201545935U 公開(kāi)（公告）日 2010-08-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN201545935U 申請(qǐng)公布日 2010-08-11
分類(lèi)號(hào) C30B23/00(2006.01)I;F16K31/02(2006.01)I;F16K51/02(2006.01)I;G05D16/00(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 吳晟 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京晟世星科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京中創(chuàng)陽(yáng)光知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 代理人 吳晟;北京晟世星科技有限公司
地址 100080 北京市海淀區(qū)中關(guān)村南三街2號(hào)樓701室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)公開(kāi)了一種用于控制單晶生長(zhǎng)設(shè)備的真空生長(zhǎng)室內(nèi)氣體壓力的壓力自動(dòng)控制裝置，包括與真空生長(zhǎng)室連通的抽氣泵、氣閥流量計(jì)、以及與氣閥流量計(jì)相連的氣源、其特征在于，在真空生長(zhǎng)室與真空抽氣泵之間，或真空生長(zhǎng)室與氣體流量計(jì)之間設(shè)置有電磁閥，該裝置進(jìn)一步包括壓力傳感器、程序給定器、PID控制器和多諧振蕩器，壓力傳感器測(cè)量生長(zhǎng)室的氣壓，并將測(cè)得的壓力轉(zhuǎn)換成電信號(hào)，該信號(hào)與程序給定器給出的壓力數(shù)值進(jìn)行比較，其差值被送入PID控制器，PID控制器將輸出到壓控多諧振蕩器，該壓控多諧振蕩器的輸出信號(hào)控制所述電磁閥的氣閥的通、斷，進(jìn)而控制真空生長(zhǎng)室的進(jìn)氣和出氣，使真空生長(zhǎng)室內(nèi)的壓力保持在晶體生長(zhǎng)工藝要求的穩(wěn)定狀態(tài)。