一種硅片翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201810580596.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN109037135A 公開（公告）日 2018-12-18
申請(qǐng)公布號(hào) CN109037135A 申請(qǐng)公布日 2018-12-18
分類號(hào) H01L21/683;H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 居建華 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫思銳電子設(shè)備科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京盛凡智榮知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 無錫思銳電子設(shè)備科技有限公司
地址 214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)無錫中關(guān)村軟件園22號(hào)樓(A5)105.106室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種硅片翻轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，包括安裝座、中空軸馬達(dá)、旋轉(zhuǎn)臂、轉(zhuǎn)軸、兩對(duì)片叉、一對(duì)吸盤、一對(duì)氣管以及第二螺柱，所述安裝座上開設(shè)有圓孔，所述中空軸馬達(dá)通過第二螺柱固定于安裝座上，所述轉(zhuǎn)軸插裝于中空軸馬達(dá)內(nèi)，所述旋轉(zhuǎn)臂固定套裝于轉(zhuǎn)軸上，所述一對(duì)吸盤分別安置于旋轉(zhuǎn)臂兩端，所述一對(duì)氣管分別與一對(duì)吸盤進(jìn)行連通，且穿過旋轉(zhuǎn)臂與轉(zhuǎn)軸相連通，所述轉(zhuǎn)軸與中空軸馬達(dá)的轉(zhuǎn)子軸相連通，本發(fā)明涉及硅片生產(chǎn)制造設(shè)備技術(shù)技術(shù)領(lǐng)域，減少對(duì)硅片表面的刮傷，讓硅片在使用時(shí)減少其損耗，提高硅片使用壽命。