晶圓電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)上下料裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110879481.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113481575B 公開（公告）日 2022-04-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN113481575B 申請(qǐng)公布日 2022-04-12
分類號(hào) C25D17/00;C25D7/12 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 孫永勝;李松松;祁志明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214194 江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明是晶圓電鍍?cè)O(shè)備自動(dòng)上下料裝置，其結(jié)構(gòu)是機(jī)架上的上下料機(jī)構(gòu)與定圓心及檢測(cè)機(jī)構(gòu)相鄰設(shè)置，上下料機(jī)構(gòu)與中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)相鄰設(shè)置，中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)兩側(cè)設(shè)導(dǎo)軌，導(dǎo)軌由中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)兩側(cè)延伸至中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)另一端兩側(cè)后部，掛具移動(dòng)開合機(jī)構(gòu)包括掛具移動(dòng)機(jī)構(gòu)和掛具開合機(jī)構(gòu)，掛具移動(dòng)機(jī)構(gòu)滑動(dòng)連接在導(dǎo)軌上，掛具開合機(jī)構(gòu)安裝在中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)與導(dǎo)軌遠(yuǎn)離中轉(zhuǎn)定位機(jī)構(gòu)的一端之間的機(jī)架上的頂安裝架上。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：實(shí)現(xiàn)了晶圓電鍍前后的自動(dòng)上下料和輸送，有效提高了生產(chǎn)效率，防止破損。