水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110581202.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113322503A 公開(kāi)（公告）日 2021-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113322503A 申請(qǐng)公布日 2021-08-31
分類(lèi)號(hào) C25D17/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I;C25D3/38（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;C25D5/08（2006.01）I 分類(lèi) 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 孫永勝;李松松;祁志明;李程 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 無(wú)錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000江蘇省無(wú)錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明是水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備，其結(jié)構(gòu)是密封蓋位于機(jī)架頂部的頂板上，密封蓋四周的頂板上設(shè)壓緊把手，密封蓋下方的頂板下方設(shè)主槽，主槽內(nèi)設(shè)電化學(xué)沉積槽，主槽旁的頂板下方設(shè)馬達(dá)安裝槽，馬達(dá)安裝槽頂部裝有馬達(dá)，馬達(dá)位于頂板上方，馬達(dá)安裝槽內(nèi)水平設(shè)有主動(dòng)齒輪，馬達(dá)傳動(dòng)連接主動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪驅(qū)動(dòng)電化學(xué)沉積槽內(nèi)的攪拌機(jī)構(gòu)轉(zhuǎn)動(dòng)，電化學(xué)沉積槽頂部側(cè)面設(shè)陰極接線、底部設(shè)陽(yáng)極接線，陽(yáng)極接線接觸主槽內(nèi)底部的陽(yáng)極接線柱，主槽內(nèi)底部還設(shè)有與電化學(xué)沉積槽底部連通的進(jìn)液/排液口。本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，一次生產(chǎn)時(shí)間可縮短到3.5h，填孔能力可達(dá)100％，對(duì)于小而深的孔同樣能有效填孔，晶圓片內(nèi)均勻性可達(dá)5％。