水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備電化學(xué)沉積槽攪拌機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121201888.7 申請日 -
公開（公告）號 CN215404599U 公開（公告）日 2022-01-04
申請公布號 CN215404599U 申請公布日 2022-01-04
分類號 C25D17/00（2006.01）I;C25D21/10（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 李松松;孫永勝;祁志明;李程 申請（專利權(quán)）人 無錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214000江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型是水平式晶圓電化學(xué)沉積設(shè)備電化學(xué)沉積槽攪拌機(jī)構(gòu)，其特征包括攪拌風(fēng)葉和馬達(dá)，攪拌風(fēng)葉位于安裝在機(jī)架上的沉積槽內(nèi)的均勻性孔板上方且由同步齒輪組傳動連接，同步齒輪組位于沉積槽中部環(huán)形的安裝板向內(nèi)圓心側(cè)的延伸部上且與位于安裝板上部的內(nèi)定齒輪環(huán)內(nèi)圈嚙合連接，內(nèi)定齒輪環(huán)外圈嚙合連接位于沉積槽外側(cè)的機(jī)架上的主動齒輪，機(jī)架上的馬達(dá)傳動連接主動齒輪。本實用新型的優(yōu)點：結(jié)構(gòu)設(shè)計合理，對電化學(xué)液進(jìn)行有效攪拌，配合沉積槽內(nèi)均勻性孔板，可有效實現(xiàn)對產(chǎn)品進(jìn)行充分電化學(xué)沉積，提高生產(chǎn)效率，改善處理質(zhì)量。