晶圓電鍍設(shè)備自動上下料裝置定圓心及檢測機(jī)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121786742.3 申請日 -
公開（公告）號 CN215481367U 公開（公告）日 2022-01-11
申請公布號 CN215481367U 申請公布日 2022-01-11
分類號 C25D17/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I;C25D17/06（2006.01）I;C25D21/00（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 孫永勝;李松松;祁志明 申請（專利權(quán)）人 無錫吉智芯半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 214194江蘇省無錫市錫山區(qū)錫北鎮(zhèn)優(yōu)谷產(chǎn)業(yè)園75號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型是晶圓電鍍設(shè)備自動上下料裝置定圓心及檢測機(jī)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)是安裝座中心設(shè)轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸底端連接安裝座內(nèi)的轉(zhuǎn)動驅(qū)動裝置，轉(zhuǎn)軸頂端連接轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)盤兩側(cè)對應(yīng)設(shè)有內(nèi)側(cè)呈弧形的收攏爪，收攏爪安裝在移動桿頂端，移動桿底端連接安裝座內(nèi)的平移驅(qū)動裝置，兩側(cè)收攏爪之間的轉(zhuǎn)盤的另一側(cè)面設(shè)光電感應(yīng)器，光電感應(yīng)器通過安裝桿安裝在安裝座上。本實用新型的優(yōu)點：轉(zhuǎn)盤帶動晶圓轉(zhuǎn)動，兩側(cè)收攏爪向內(nèi)收攏對晶圓進(jìn)行限位定圓心，有助于自動上下料機(jī)構(gòu)取放晶圓片，可保證位置準(zhǔn)確性，同時光電感應(yīng)器可對晶圓表面進(jìn)行檢測是否有破損，還可檢測特殊晶圓邊緣定位缺口，以對晶圓轉(zhuǎn)動進(jìn)行定位到固定位置，方便向后續(xù)工位輸送。有效提高了生產(chǎn)效率，防止破損。