一種計(jì)算光刻投影物鏡中朗奇剪切干涉圖像的方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011148935.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN112114501A | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-12-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN112114501A | 申請(qǐng)公布日 | 2020-12-22 |
| 分類號(hào) | G03F7/20(2006.01)I;G01J9/02(2006.01)I | 分類 | 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 牛志元;施偉杰 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 東方晶源微電子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳市智享知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 東方晶源微電子科技（北京）有限公司深圳分公司 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市福田區(qū)福保街道福田保稅區(qū)英達(dá)利科技數(shù)碼園C座301F室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種計(jì)算光刻投影物鏡中朗奇剪切干涉圖像的方法，在該方法中，光源發(fā)出的光從物方光柵到像方光柵的過(guò)程中采用嚴(yán)格的光刻矢量模型進(jìn)行計(jì)算，同時(shí)可以適用于任意形狀的物方、像方光柵；并且光從像方光柵到接收屏的過(guò)程中采用嚴(yán)格的Rayleigh?Sommerfeld衍射積分進(jìn)行計(jì)算。本發(fā)明提供的計(jì)算光刻投影物鏡中朗奇剪切干涉圖像的方法由于采用嚴(yán)格的光刻矢量模型以及Rayleigh?Sommerfeld衍射積分進(jìn)行計(jì)算，所以無(wú)需考慮物方、像方光柵的近場(chǎng)或遠(yuǎn)場(chǎng)，接收屏也無(wú)需考慮傍軸近似等因素，避免了傳統(tǒng)測(cè)試方法局限性大導(dǎo)致難以精確的得到剪切干涉圖像的問(wèn)題。?? |
