一種厚膜吸氣材料的制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201711277777.2 申請日 -
公開（公告）號 CN109879240B 公開（公告）日 2021-11-09
申請公布號 CN109879240B 申請公布日 2021-11-09
分類號 B81B7/00（2006.01）I;B81C1/00（2006.01）I 分類 微觀結(jié)構(gòu)技術(shù)〔7〕;
發(fā)明人 張艷;崔建東;徐曉強(qiáng);李洋 申請（專利權(quán)）人 北京有色金屬研究總院有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京北新智誠知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 劉徐紅
地址 101407 北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)興科東大街11號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種厚膜吸氣材料的制備方法，屬于電真空吸氣元件制備技術(shù)領(lǐng)域。先將非蒸散型吸氣材料粉末與有機(jī)粘結(jié)劑均勻混合，得到厚膜漿料；同時將低熔點(diǎn)玻璃粉與硝棉溶液或焊料與硝棉溶液混合均勻，在器件基材上均勻涂覆一層低熔點(diǎn)玻璃粉漿料或焊料漿料；采用澆鑄、印刷、噴涂、刷涂或刮刀涂層工藝將厚膜漿料在低熔點(diǎn)玻璃粉或焊料涂層表面沉積；最后進(jìn)行真空燒結(jié)，得到非蒸散型厚膜吸氣材料。本發(fā)明的厚膜吸氣材料克服體吸氣材料和薄膜吸氣材料的劣勢，有效地同時解決裝配空間和吸氣容量不能兼容的問題，并且采用了一種由底層焊接層和吸氣材料層組成的復(fù)合雙層結(jié)構(gòu)，提高了非蒸散型厚膜吸氣材料在器件基底上的附著強(qiáng)度，提高了器件的可靠性。