一種半導(dǎo)體晶圓鍍膜技術(shù)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202020800489.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN211700194U | 公開（公告）日 | 2020-10-16 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN211700194U | 申請(qǐng)公布日 | 2020-10-16 |
| 分類號(hào) | H01L21/02(2006.01)I;H01L23/29(2006.01)I | 分類 | - |
| 發(fā)明人 | 張磊;張松;郭銳 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 河南省三石精密光學(xué)有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 476000河南省商丘市寧陵縣小呂集村東頭03號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種半導(dǎo)體晶圓鍍膜技術(shù)，涉及半導(dǎo)體晶圓技術(shù)領(lǐng)域。該半導(dǎo)體晶圓鍍膜技術(shù)，包括晶圓本體，所述晶圓本體的頂面由下到上依次設(shè)有二氧化硅膜、電阻膜、碳膜、ITO鍍膜、透光膜、防水膜和抗污膜。該半導(dǎo)體晶圓鍍膜技術(shù)，通過設(shè)置透光膜、防水膜和抗污膜，將透光膜提升晶圓本體的透光率，將防水膜提升晶圓本體的防水性能，將抗污膜提升晶圓本體的抗油污腐蝕污染性能，解決了傳統(tǒng)的晶圓在進(jìn)行二氧化硅鍍膜后其外表面硬度低，并且耐臟污性能差，不能滿足需求的問題，通過設(shè)置固定框，對(duì)晶圓本體進(jìn)行固定，便于晶圓本體進(jìn)行封裝處理，通過設(shè)置氧化銦錫，提升電阻率和透光率，通過設(shè)置氟化物，提升晶圓本體的抗氧化和抗老化性能。?? |
